ইলেক্ট্রন বিম বাষ্পীভবন পদ্ধতি হল এক ধরনের ভ্যাকুয়াম বাষ্পীভবন আবরণ, যা ইলেকট্রন বিম ব্যবহার করে ভ্যাকুয়াম অবস্থায় বাষ্পীভবন উপাদানকে সরাসরি গরম করে, বাষ্পীভবন উপাদানকে বাষ্পীভূত করে এবং এটিকে সাবস্ট্রেটে পরিবহন করে এবং একটি পাতলা ফিল্ম তৈরি করতে সাবস্ট্রেটের উপর ঘনীভূত করে।ইলেক্ট্রন বীম হিটিং ডিভাইসে, উত্তপ্ত পদার্থটিকে একটি জল-ঠান্ডা ক্রুসিবলে রাখা হয়, যা বাষ্পীভবন উপাদান এবং ক্রুসিবল প্রাচীরের মধ্যে প্রতিক্রিয়া এড়াতে পারে এবং ফিল্মের গুণমানকে প্রভাবিত করতে পারে।একযোগে বা পৃথক বাষ্পীভবন এবং বিভিন্ন পদার্থের জমা করার জন্য ডিভাইসে একাধিক ক্রুসিবল স্থাপন করা যেতে পারে।ইলেক্ট্রন মরীচি বাষ্পীভবনের সাথে, যে কোনও উপাদান বাষ্পীভূত হতে পারে।
ইলেকট্রন মরীচি বাষ্পীভবন উচ্চ গলনাঙ্ক উপকরণ বাষ্পীভূত করতে পারেন.সাধারণ প্রতিরোধের হিটিং বাষ্পীভবনের সাথে তুলনা করে, এটির উচ্চ তাপ দক্ষতা, উচ্চ মরীচি বর্তমান ঘনত্ব এবং দ্রুত বাষ্পীভবন গতি রয়েছে।ফিল্ম এবং বিভিন্ন অপটিক্যাল উপকরণ যেমন পরিবাহী কাচের ফিল্ম।
ইলেক্ট্রন রশ্মি বাষ্পীভবনের বৈশিষ্ট্য হল যে এটি লক্ষ্য ত্রিমাত্রিক কাঠামোর দুটি দিককে আবৃত করবে না বা খুব কমই, এবং সাধারণত শুধুমাত্র লক্ষ্য পৃষ্ঠে জমা হয়।এটি ইলেক্ট্রন মরীচি বাষ্পীভবন এবং স্পুটারিংয়ের মধ্যে পার্থক্য।
ইলেকট্রন মরীচি বাষ্পীভবন সাধারণত সেমিকন্ডাক্টর গবেষণা এবং শিল্প ক্ষেত্রে ব্যবহৃত হয়।ত্বরিত ইলেক্ট্রন শক্তি উপাদান লক্ষ্যে আঘাত করতে ব্যবহৃত হয়, যার ফলে বস্তুগত লক্ষ্য বাষ্পীভূত হয় এবং বৃদ্ধি পায়।অবশেষে লক্ষ্যে জমা হয়।
পোস্টের সময়: ডিসেম্বর-০২-২০২২